klass 1
Preparation av SEM-preparat
SEM-sputterenhet. Kompressorn (1.) åstadkommer ett undertryck i provkammaren (2.).
Sputterkammare.
1. lock
2. botten
3. provhållare
SEM-sputterenhet. Kompressorn (1.) åstadkommer ett undertryck i provkammaren (2.).
Sputterkammare.
1. lock
2. botten
3. provhållare
