taso 1
SEM-näytteiden päällystysyksikkö

SEM-näytteiden päällystysyksikkö. Kompressori (1.) muodostaa näyteiden päällystystilaan (2.) alipaineen.

Päällystyskammio.
1. kansi
2. alusta
3. näytealustoja

SEM-näytteiden päällystysyksikkö. Kompressori (1.) muodostaa näyteiden päällystystilaan (2.) alipaineen.

Päällystyskammio.
1. kansi
2. alusta
3. näytealustoja